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低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成份，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过多级净化，将有害物转化为洁净的空气释放至大自然。其工作原理如下：
（1）利用高压电场将废气分子电离分解，形成低温等离子体。高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。聚乙烯、聚丙烯等大分子聚合物会被分解成小分子。
（2）高压电场会电离空气中的氧气，使之产生游离态的氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
（3）臭氧将打碎的恶臭气体分子氧化成CO2和H2O等无机物，从而达到治理目的。
