污染物分解设备等离子净化器是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
去除污染物的基本过程:
过程一：电子的直接轰击；
过程二：O原子或臭氧的氧化:O2+e→2O-；
过程三：OH自由基的氧化: H2O+e→OH+H H2O+O→2OH H+O2→OH+O；
过程四：分子碎片+氧气的反应。
污染物分解设备等离子净化器性能特点：
1.净化效率高，性能稳定；
2.设备风阻低≤300Pa,无需加人抽风设备，投资低；
3.运行成本低，耗电小；
4.维护保养简便，费用低，每使用90天为保养清洗期；
5.设备采用敞开式排放形式，不设封闭高压，高温区；
6.无需活性炭材料，不存在饱和脱附原料，无二次污染；
7.使用寿命长，安装简便，操作过程实行全自动化。
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