低温等离子光氧一体机废气净化器，等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
光氧等离子一体机是科研团队在低温等离子净化设备、UV光氧净化设备的基础上，经过不断研究、多年实践设计而成,通过标准模块设计，采用“吸附一一分解一碳化”工艺设计，改变了单纯使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需无人负责，不会产生二次污染。
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降 解污染物的目的。
设备反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
