uv光氧催化废气处理设备严格来讲应该称为UV光催化氧化废气净化装置，废气进入到此设备，先在UV紫外线光束的照射下产生裂解，将废气中含有的氨、苯等voc的分子键打断，使其成为污染物小分子或打断成分子链，同时UV紫外线分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生臭氧，此时，游离状态的污染物小分子与臭氧氧化结合成无害或低害的化合物，如二氧化碳和水。

但是，一些氧化性相对较差的污染物分子不会立即与臭氧发生反应，在废气通过此设备的过程中，此类污染物分子在设备内置催化板的强催化作用下，才能够发生上述反应。