在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

低温等离子净化设备
等离子净化设备又称低温等离子净化设备，在电化总的设计概念下分三个既独立又混合的激发系统，即微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

净化机理
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:
(1)电场+电子高能电子
(2)高能电子+分子(或原子) >(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子) +生成物+热

(4)活性基团+活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。